Résumé:
L’objet de ce travail consiste à élaborer des dépôts d’oxyde de vanadium sur un substrat
piézoélectrique représenté par la microbalance à cristal de quartz (QCM) en vue de la réalisation
d’un capteur de gaz toxiques. Les couches minces d’oxyde de vanadium sont déposées sur les
QCMs par la méthode d’évaporation sous vide par effet Joule, suivi par un recuit à différentes
températures. L’influence de la température de recuit sur la structure et la morphologie des films
élaborés a été étudiée par la microscopie électronique à balayage (MEB), et diffraction des rayons X
DRX.
Les capteurs piézoélectriques sont susceptibles de fournir une signature du gaz par la variation de la
fréquence d’oscillation du QCM quand une espèce chimique s’adsorbe à la surface. Une étude de la
réponse électrique des structures élaborées a été effectuée en présences de gaz toxiques.
