Résumé:
Naturellement présent à faible dose dans l’atmosphère (entre 400 et 500 ppm), le dioxyde de
carbone (CO2) ou gaz carbonique peut être émis en grande quantité lors des combustions aussi bien
naturelles (éruptions volcaniques, incendies) qu’anthropiques (combustion interne dans les moteurs,
transformations chimiques dans les industries). Il est donc présent dans un très grand nombre de
secteurs d’activités.
Incolore, inodore et plus lourd que l’oxygène, le dioxyde de carbone présente un risque
important dans les milieux mal ventilés et les espaces confinés comme les tunnels, vides sanitaires,
réservoirs, cuves ou les égouts. Toute personne y est également confronté dans des secteurs d’activités
comme les brasseries, les abattoirs, les industries agroalimentaires, les serres, les caves de vinification
ou d’affinage. La détection et la mesure de la quantité de dioxyde de carbone ont toujours été un
véritable challenge.
Ainsi dans ce travail, nous nous proposons de fabriquer des structures à base de NiO et de
silicium poreux de type Al/NiO/PSi/Si(n) pour la détection de différents gaz tels que l’éthanol,
l’hydrogène et le dioxyde de carbone.
Le silicium poreux est élaboré par voie électrochimique du silicium Si de type (n) et
d’orientation (100), par la suite des couches d’oxyde de nickel (NiO) seront déposées par la méthode
sol-gel (Dip-coating), sur des substrats de silicium monocristallin, silicium poreux et sur du verre.
Les couches minces de NiO ont été par la suite caractérisées par diffraction de rayon X (DRX),
microscopie électronique à balayage (MEB), dispersion d'énergie des rayons X (EDS) et
spectroscopie infrarouge à transformer de fourier (FTIR).
D'autres paramètres de cette structure tels que la sensibilité au gaz, la réponse couranttension
I(V), impédance...) ont été étudiés.
Finalement, une analyse des résultats obtenus a été effectuée.
